基于像散面約束的鏡片柔性支撐結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)方法

摘要： 為提高高精度光機(jī)系統(tǒng)中光學(xué)元件支撐后的面形精度，在考慮沖擊、振動(dòng)、壓力及溫度等因素的影響下，設(shè)計(jì)了一種整體式多彈片定位的光學(xué)鏡片支撐結(jié)構(gòu)。在靜力學(xué)條件下，通過有限元分析法計(jì)算整體結(jié)構(gòu)的固有頻率及支撐結(jié)構(gòu)對(duì)鏡片面形的影響，一階固有頻率達(dá)到366.13 Hz，鏡片面形峰谷值為13.923 nm，均方根值為2.499 nm?；谙裆⒚婕s束的條件，分析了支撐結(jié)構(gòu)的變形對(duì)鏡片面形的劣化程... （共12頁）