基于反射式空間光調(diào)制器的非球面面形干涉檢測方法設(shè)計

摘要： 目前光學(xué)系統(tǒng)中非球面數(shù)量多，針對各個非球面單獨做補償器檢測面形加工成本高、通用性不好、加工難度大，為解決對多個參數(shù)不同的非球面需要不同的補償器的問題，提出了一種基于空間光調(diào)制器(spatial light modulator, SLM)作為補償器的干涉面形檢測方法，該干涉檢測法采用反射式空間光調(diào)制器作為零位補償器，結(jié)合偏振分光鏡和波片建立檢測光路，可以實現(xiàn)對非球面面形誤差的測量... （共7頁）