輕敲式原子力顯微鏡相位成像的理論和實驗研究

摘要： 原子力顯微鏡有多種成像模式，輕敲模式是最為常用的掃描方式。輕敲模式能獲取樣品表面的高度信息和相位信息，其中相位信息具有更多的價值，其能反應(yīng)樣品表面的物理性質(zhì)。為了理解原子力顯微鏡的相位成像機(jī)理，本文分別使用振動理論和能量理論推導(dǎo)了相位的理論表達(dá)式，發(fā)現(xiàn)兩種理論方法所得到的相位表達(dá)式在本質(zhì)上是一致的，并由理論結(jié)果得知相位與背景耗散和激勵頻率直接相關(guān)。其中背景耗散品的存在會掩蓋樣品... （共8頁）