采用菱形輻條的高對稱MEMS蜘蛛網(wǎng)狀盤式諧振陀螺儀

摘要： 微電子機械系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀因抵抗制造誤差能力差和品質(zhì)因數(shù)低等問題限制了其在高端領(lǐng)域的應(yīng)用。通過對MEMS陀螺儀的理論分析和有限元仿真，基于絕緣體上硅(SOI)工藝設(shè)計并制備出了一種由多個同心嵌套的蜘蛛網(wǎng)環(huán)和菱形輻條組成的新型MEMS盤式諧振陀螺儀。實驗結(jié)果表明，該陀螺儀的驅(qū)動諧振頻率為42.749 kHz,感應(yīng)諧振頻率為42.798 kHz,頻率失配為1.145×10~(... （共7頁）