基于反射率修正的柱透鏡面形光譜共焦測(cè)量研究

摘要： 為實(shí)現(xiàn)柱透鏡面形的精確測(cè)量，研究了反射率引起的面形測(cè)量誤差。首先介紹了光譜共焦位移傳感系統(tǒng)的工作原理，并在空間坐標(biāo)系下利用柱透鏡的結(jié)構(gòu)參數(shù)，推導(dǎo)了系統(tǒng)的光譜響應(yīng)，建立了柱透鏡面形測(cè)量模型。然后，對(duì)由各點(diǎn)反射率引起的光譜曲線譜峰漂移，以及這種漂移導(dǎo)致的面形測(cè)量誤差進(jìn)行了理論研究和仿真分析。。為修正透鏡曲面反射率對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，采用S-G濾波及高斯擬合實(shí)現(xiàn)濾波和光譜信號(hào)峰值波長(zhǎng)的... （共8頁(yè)）