硅基MEMS安執(zhí)機構(gòu)在微爆炸序列中的應用與發(fā)展趨勢

摘要： 為適應各類信息化、智能化、微型化武器發(fā)展需求，以換能信息化、結(jié)構(gòu)微型化、序列集成化為主要特點的MEMS火工品成為火工品技術(shù)發(fā)展的重要方向。MEMS安執(zhí)機構(gòu)作為MEMS火工品微爆炸序列能量傳遞的控制機構(gòu)，是MEMS火工品設(shè)計的關(guān)鍵技術(shù)之一。本文基于微爆炸序列結(jié)構(gòu)形式對硅基MEMS安執(zhí)機構(gòu)進行分類研究，分析不同安執(zhí)機構(gòu)的技術(shù)原理，探討其應用進展與研究現(xiàn)狀，總結(jié)硅基MEMS安執(zhí)機構(gòu)微... （共8頁）