具有緊湊結(jié)構(gòu)的芯片聲表面波拓?fù)溲舆t線設(shè)計(jì)與分析

摘要： 聲表面波(SAW)延遲線常用于現(xiàn)代射頻信號(hào)處理、陀螺儀、傳感等領(lǐng)域，特別是在雷達(dá)工業(yè)中獲得了廣泛的運(yùn)用。聲表面波延遲線作為寬帶通信、電子對(duì)抗、多相調(diào)制等雷達(dá)系統(tǒng)中的關(guān)鍵器件，其結(jié)構(gòu)存在簡(jiǎn)并化、緊湊化的迫切需求。然而，傳統(tǒng)的基于電聲叉指換能器的聲表面波延遲線器件主要采用速度更低的襯底材料或者運(yùn)用多個(gè)叉指換能器的方式實(shí)現(xiàn)延遲時(shí)間的增加，這會(huì)導(dǎo)致機(jī)電耦合系數(shù)降低，且器件結(jié)構(gòu)復(fù)雜，器件... （共5頁）