基于尺度自適應(yīng)細(xì)胞分裂的芯片表面缺陷檢測

摘要： 針對表面缺陷檢測復(fù)雜煩瑣的特征提取過程和基于人工免疫理論的細(xì)胞分裂過程產(chǎn)生無用空細(xì)胞，影響數(shù)據(jù)分類的問題，提出一種基于尺度自適應(yīng)細(xì)胞分裂的芯片表面缺陷檢測方法。基于VGG19預(yù)訓(xùn)練模型對芯片表面缺陷進(jìn)行特征提取，采用尺度自適應(yīng)細(xì)胞分裂分類方法(SA-CDCM)對芯片進(jìn)行表面缺陷檢測。SA-CDCM算法分裂過程無空細(xì)胞產(chǎn)生，實現(xiàn)了細(xì)胞分裂尺度自適應(yīng)，能夠以較少的檢測器進(jìn)行缺陷檢測... （共7頁）