PZT基多層剪切型壓電陶瓷致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)性能

摘要： 隨著驅(qū)動(dòng)技術(shù)向微型化與高精度化方向發(fā)展，壓電致動(dòng)器因其在精確位移控制和快速響應(yīng)方面的優(yōu)勢(shì)而受到廣泛關(guān)注。提出了一種基于鋯鈦酸鉛(PZT)陶瓷的多層剪切型壓電致動(dòng)器，并采用有限元分析方法及自主開發(fā)的新型實(shí)驗(yàn)平臺(tái)對(duì)其驅(qū)動(dòng)性能進(jìn)行深入研究。結(jié)果表明，致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)性能主要受輸入電壓頻率和幅值的影響，在適當(dāng)?shù)念l率與低電壓條件下可實(shí)現(xiàn)更高的調(diào)控分辨率。此外，當(dāng)結(jié)構(gòu)施加的預(yù)緊力超過最大負(fù)載時(shí)... （共9頁）