一種用于單細胞阻抗檢測的CMOS-MEMS單芯片電化學阻抗傳感器

摘要： 傳統(tǒng)的基于貴金屬的共面電極價格昂貴，且難以與互補金屬氧化物半導體(CMOS)工藝集成，阻礙了采用共面電極的傳感器的量產(chǎn)與大規(guī)模應用。開發(fā)了一種基于微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝的共面鉭電極電化學阻抗傳感器，該傳感器集成了精準微泵和微流道，可實現(xiàn)單細胞在共面電極上的精準操控和非侵入性電阻抗檢測和分析。設(shè)計了3組不同寬度和間距的鉭電極，其中30μm/10μm的配置對細胞響應最為靈敏。細... （共8頁）