當(dāng)前位置:首頁 > 科技文檔 > 物理學(xué) > 正文

SU-8光柵的制備及其衍射性能研究

傳感器與微系統(tǒng) 頁數(shù): 4 2025-01-07
摘要: 衍射效率的大小是衡量光刻光柵性能優(yōu)劣的重要指標(biāo)。使用嚴(yán)格耦合波分析(RCWA)模擬得到周期10μm和12μm的SU—8微米光柵的各級次衍射效率。采用掩模版紫外光刻技術(shù)制作曝光時(shí)間分別為27,30,33,36 s的SU—8光柵。通過顯微鏡觀察,發(fā)現(xiàn)曝光時(shí)間30 s制得的光柵結(jié)構(gòu)更加清晰和平整。測量光柵樣品的衍射效率,結(jié)果顯示,0級衍射效率最大,與理論模擬結(jié)果相符。曝光時(shí)間27,3... (共4頁)

開通會(huì)員,享受整站包年服務(wù)
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件