一種基于偏振相機的應力測量方法及其誤差校正
摘要: 基于Muller矩陣和Stokes矢量測量原理,提出了一種利用圓偏振光、無旋轉元件的應力測量和在線誤差校正方法。該方法通過偏振相機獲取的光強信息計算出待測樣品的相位延遲,對相位延遲進行溯源便可得到樣品的應力分布。通過分析標準1/4波片的相位延遲和偏振相機消光比對測量結果的影響,提出了相應的在線測量與校正方法。為驗證方案的可行性,搭建了一套應力測量系統(tǒng),利用該系統(tǒng)測量了一塊經計量... (共7頁)
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