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金凸點熱超聲倒裝焊工藝研究

微電子學 頁數(shù): 5 2024-07-29
摘要: 系統(tǒng)地研究了金凸點熱超聲倒裝焊工藝參數(shù),結果表明:焊接壓力越大,芯片剪切強度越大,其隨著焊接壓力的提高而升高。壓力不足會導致凸點形變量不足,與基板接觸程度不足,壓力過大會造成凸點嚴重變形,凸點已完全平坦化,沿四周過度擴展,焊接壓力約為35~45 g/球比較合理;超聲功率在40%及以上,剪切力趨于平緩,根據(jù)試驗結果,使用的超聲功率應該從“剪切力/超聲功率”曲線的“上坡段”選取,約... (共5頁)

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