離子束改善薄膜光學(xué)特性研究

摘要： 提出并設(shè)計(jì)一款具有雙腔室結(jié)構(gòu)的加熱燈絲型輔助離子源，解決現(xiàn)有燈絲型離子源無(wú)法通入氧化性氣體作為工作氣體或燈絲工作時(shí)間較短的問(wèn)題，使得該離子源可以用于氧化物薄膜的輔助制備，兼具活化源的部分功能。同時(shí)，設(shè)計(jì)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證提出的輔助離子源的有效性。選取光通信領(lǐng)域常見(jiàn)的兩種氧化物（Ta2O5和SiO2）薄膜作為沉積的膜層材料，改變離子源的電流、電壓、偏壓、工作氣體流量等參數(shù)，并利用分光... （共7頁(yè)）