化學(xué)氣相沉積合成純單層石墨烯的技術(shù)綜述

摘要： 石墨烯的各種優(yōu)異性能使其在半導(dǎo)體領(lǐng)域中具有廣闊的應(yīng)用前景，同時(shí)其單原子層的特殊結(jié)構(gòu)使得石墨烯的層數(shù)對其各種特性有著顯著的影響。因此，高質(zhì)量和層數(shù)可控的石墨烯薄膜的規(guī)模化穩(wěn)定制備是實(shí)現(xiàn)其在微電子、光學(xué)和傳感器等領(lǐng)域中各種關(guān)鍵器件應(yīng)用的基礎(chǔ)。目前，在眾多的石墨烯制備方法中，大尺寸、高質(zhì)量石墨烯薄膜制備的最主要手段是化學(xué)氣相沉積法。本文綜述了近年來利用化學(xué)氣相沉積法合成純單層石墨烯連... （共8頁）