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掃描電鏡多角度圖像采集系統(tǒng)研究

電子顯微學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 10 2024-12-15
摘要： 傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡只能采集到樣品的二維圖像，難以獲得樣品表面更真實(shí)的形貌特征和量化的高度信息。為了實(shí)現(xiàn)掃描電鏡的三維形貌表征，通過(guò)改進(jìn)采集系統(tǒng)增加通道數(shù)來(lái)控制四象限分布式背散射電子探測(cè)器組，獲取單視角多角度“光源”下的圖像數(shù)據(jù)，并采用三維成像算法中的光度法，來(lái)實(shí)現(xiàn)三維重建。本文設(shè)計(jì)了基于STM32系列微控制器的模擬電壓信號(hào)采集和發(fā)生卡，利用QT平臺(tái)開(kāi)發(fā)了掃描電子顯微鏡圖像采集... （共10頁(yè)）

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