復(fù)合腔高溫法珀加速度傳感器的設(shè)計與實驗

摘要： 針對鉛鉍堆高溫高壓液態(tài)流動金屬環(huán)境下（500℃，2 MPa），堆內(nèi)組件流致振動磨損監(jiān)測中高靈敏度、小量程振動監(jiān)測的需求，提出了一種基于MEMS工藝的復(fù)合腔高溫法珀加速度傳感器。依據(jù)十字梁-質(zhì)量塊敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)模型，分析了不同結(jié)構(gòu)參數(shù)對傳感器靈敏度、量程和一階固有頻率的影響，從而確定敏感結(jié)構(gòu)的尺寸參數(shù)。然后，采用雙面鍵合工藝實現(xiàn)復(fù)合腔傳感器芯片的加工，并完成傳感器的封裝及制作。最... （共10頁）